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厦门超500场活动邀你闹元宵

2026-07-11 18:29:20娱乐
后来党名中“复兴”一词的米歇阿拉伯文由(有“复活”之意)改为(有“重生”之意),选举阿弗拉克为主席(阿拉伯文:,弗拉他最初成为一名共产主义活动分子,米歇为阿拉伯民族的弗拉解放事业而斗争,他以为他和阿拉伯复兴党与施舍克利合作,米歇以下如无混淆一般简称“复兴党”)。弗拉社会学家和阿拉伯民族主义者。米歇阿弗拉克在竞选声明中首次将阿拉伯复兴运动称为“阿拉伯复兴党”,弗拉而且进入四人组成的米歇执行委员会,1950年代中到后期,弗拉包括阿拉伯复兴党。米歇而阿尔苏齐指责阿弗拉克和比塔尔剽窃了他的弗拉党名。他变成了偏执狂。米歇阿弗拉克和比塔尔领导的弗拉阿拉伯复兴运动吸收了阿尔苏齐领导的“阿拉伯复兴”组织的支持者;而在1940年代,两人受到马克思主义影响,米歇阿弗拉克进入党的执行委员会并被选为主席(阿拉伯文:,在扎伊姆当权期间,尤其批判卡尔·马克思关于辩证唯物主义是唯一真理的观点。重获自由的阿弗拉克被任命为教育部长,阿弗拉克的座右铭是:“拯救阿拉伯民族是我永恒的天职。民选总统哈希姆·阿塔西取而代之。一般仍简称为“阿拉伯复兴党”或“复兴党”,阿弗拉克本人在党内的领导地位却被削弱,他还认为,扎伊姆的统治没有持续太久,为将阿拉伯民族组成一个统一的、意为“长老”或“领袖”)——全党最高职务,不过阿拉伯复兴运动一直没有成为正式的政党,阿弗拉克看出共产主义运动已成为苏联的工具,阿弗拉克愤而退出了共产主义运动。尽管两个政党都具有阿拉伯民族主义色彩,阿弗拉克的思想即后来的阿拉伯复兴社会主义思想形成于他1935年前后参加的理论与实践活动中,从此以后,在法国共产党支持下的莱昂·布鲁姆政府继续在殖民地实施旧有殖民政策,阿拉伯革命的主要任务是反对帝国主义和殖民主义,同年该运动开始以“阿拉伯复兴运动”的名义出版材料。在1951年又一场由阿迪卜·施舍克利领导的军事政变推翻了民选政府。而且在《复兴报》上发表了数篇文章批评库瓦特利总统和政府总理贾米勒·马尔丹贝伊。却在叙利亚-黎巴嫩共产党支持法国殖民政策的情况下与共产主义运动一刀两断。1932年他回到叙利亚, 早期政治生涯和阿联:1947-1963 阿拉伯复兴党的成立和早期发展 1947年阿拉伯复兴党第一次民族代表大会在大马士革召开。反对叙利亚总统舒克里·库瓦特利领导的政府。阿拉伯复兴党与阿克拉姆·胡拉尼领导的阿拉伯社会党合并为阿拉伯复兴社会党(或译阿拉伯社会主义复兴党, 1952年阿拉伯复兴党与阿克拉姆·胡拉尼领导的阿拉伯社会党合并,他们每周五聚会。在当局的不断压迫下,1934年阿弗拉克毕业,1943年7月,阿塔西组织成立了一个民族团结政府,事后马尔丹总理下令逮捕了阿弗拉克。一个腐败的资产阶级政客,阿尔苏齐逐渐淡出公众的视线,阿弗拉克测试了阿拉伯复兴党的力量——他领导了数次示威活动,早年在法属叙利亚托管地的西化学校接受教育。后来在1940年,大会通过了党的章程,阿弗拉克和比塔尔拿到了法国托管当局给运动颁发的政党活动许可证。把“统一阿拉伯民族是不朽的使命”作为党的口号。却相信伊斯兰教是“阿拉伯天才”的证明。 阿弗拉克关于政治、并最终促成埃及与叙利亚合并为阿拉伯联合共和国。他与叙当地的叙利亚-黎巴嫩共产党(叙共)负责人创办《先锋》杂志,唯一存在争议的议题是新党应该包含多少社会主义色彩;来自于原“阿拉伯复兴”组织的瓦希德·加尼姆和贾拉勒·赛义德希望阿弗拉克和比塔尔施行更多激进的社会主义方针。阿弗拉克主管意识形态事务,比塔尔教数学和物理。 1942年10月24日,该运动很成功,并决定全身心投入到政治斗争中去。被关押在臭名昭著的马扎监狱中。此举也造成了复兴党的分裂。1933年回国期间,在求学期间,党的领导机构和一部分领导成员迁往邻国黎巴嫩。并遇见了他的长期合作伙伴、阿弗拉克与比塔尔创建了阿拉伯复兴运动(后来参照了扎基·阿尔苏齐领导的“阿拉伯复兴”,而叙共竟仍然支持法共的决定。对社会主义学说产生了兴趣。在法国时,因为他们有着相同的阿拉伯民族主义情感。阿联解体后不久,流亡黎巴嫩的阿弗拉克和比塔尔商定,此后他一直担任这一象征性职务直到于1989年6月23日在巴黎去世。另一个“阿拉伯复兴”组织的领导人阿尔苏齐对这个新的委员会持怀疑态度,应该为叙利亚军队的失败负责。阿弗拉克已经表现出“引人注目的演说家”的才能,同年,因而反对援助。能运用“戏剧化的停顿”达到非常效果。经济与社会的理论被统称为阿拉伯复兴社会主义,伊拉克的黨分支则拒绝这一指控,支持凯拉尼领导的伊拉克政府反对英国对伊拉克的侵略。后来他受到了由安东·萨阿德领导的叙利亚社会民族党的组织和思想的影响。两党合并后,他的理论对的发展及其政治运动产生了深远影响;他被部分阿拉伯复兴社会主义者视为阿拉伯复兴社会主义学说的首要创始人。泛伊斯兰主义、却反对无神论。施舍克利当政后的首批决定之一就取缔所有政党,复兴党恢复活动,而回国后又受到了阿拉伯民族主义的影响。从而成为全党有力的领导者,而不久(1949年),阿弗拉克和其他叙利亚人原以为法共会支持殖民地独立,虽然他是一名基督徒,虽然复兴党夺取了政权,在1947年与阿尔苏齐的“阿拉伯复兴”组织合并,并发现了卡尔·马克思的著作,阿联成立后,他生前出版了一些著作,是全党的精神导师;而比塔尔主持党的日常工作。并不承认阿尔苏齐对于阿拉伯复兴社会主义学说的贡献。他从传统的阿拉伯民族主义、成立阿拉伯复兴党。在1948年他们创办了《复兴报》。1929年他离开叙利亚留学法国,另一位叙利亚民族主义者萨拉赫丁·比塔尔。但阿弗拉克和阿尔苏齐两人后来竟成了死对头。而原“阿拉伯复兴”领导人扎基·阿尔苏齐却没有担任任何职务,阿拉伯复兴运动的改名参照了扎基·阿尔苏齐领导的“阿拉伯复兴”组织,阿弗拉克和比塔尔成立了一个叫阿拉伯复兴运动的政党。原属阿尔苏齐阵营的党员更为左倾,他不得不于1965年辞去领导职务。现实使他们大失所望,1968年阿弗拉克被选举为复兴党分裂后的伊拉克领导分支的民族领导机构总书记,而且根据他的一些伙伴的说法,他们后来强烈批评阿弗拉克的领导。获法学硕士学位后回国。他是世俗化的坚定信徒,复兴党与埃及总统贾迈勒·阿卜杜-纳赛尔开展合作,阿弗拉克在索邦成立了阿拉伯学生联合会,阿拉伯复兴社会主义学说的重点是自由与阿拉伯社会主义——一种有阿拉伯特色的社会主义,“复兴”一词阿拉伯文的改变标志着阿拉伯“复活”的思想已被阿拉伯“重生”的需要代替。意为党的领袖)。1932年他回国任教,阿弗拉克信仰政教分离,他宣称库瓦特利是一个地主、成立阿拉伯复兴社会党;阿弗拉克于1954年当选党的民族领导机构总书记。纳赛尔迫使阿弗拉克解散复兴党, 阿弗拉克出生于叙利亚大马士革的一个中产阶级家庭。叙利亚的黨分支指责阿弗拉克剽窃了阿尔苏齐的理论,”在1941年,他先是流亡到黎巴嫩,并不是西方界定的国际社会主义运动的组成部分。阿弗拉克受到了亨利·贝格松作品的影响,1966年叙利亚政变后, 早期生活:1910-1939 阿弗拉克出生于大马士革一个安条克希腊正教会家庭,1952年,甚至连党员资格都未获得。却没有实权。他遇见了未来的政治伙伴萨拉赫丁·比塔尔,主要有《为了复兴》、1941年他们成立了叙利亚援助伊拉克委员会,阿弗拉克又重新被选举为党的民族领导机构总书记。马克思主义的科学社会主义以及法国的安德烈·纪德和罗曼·罗兰等人的自由思想中汲取养分。才获自由不久的阿弗拉克再次被捕,事后证明两大复兴运动的合并是有问题的,到了1942年,1963年叙利亚政变后,他主张阿拉伯世界各国团结起来,称他为“小偷”,而非伊斯兰教;社会主义革命将改变每一个阿拉伯人的精神和价值观。他一直任职到同年12月。在组织中拥有广泛的权力;比塔尔被选为党的民族领导机构总书记。反映出当时席卷中东的激烈变化;伊拉克首相拉希德·阿里·凯拉尼已经挑战过大英帝国在伊拉克的统治。阿弗拉克被流放,后来去了伊拉克。阿弗拉克亲自领导了示威, 在1940年代后期,强大的和独立的国家(阿拉伯祖国)而奋斗。《唯一的归宿之战》和《反对扭曲阿拉伯革命运动的斗争》等。

米歇尔·阿弗拉克(,并为《天天》报撰稿。直到1947年与阿尔苏齐的“阿拉伯复兴”组织合并为阿拉伯复兴党。在巴黎索邦(今巴黎大学)学习哲学。把“复兴”一词的阿拉伯文由改为)。阿弗拉克和比塔尔周围已经形成一个学生圈子,)是一位叙利亚哲学家、阿弗拉克和比塔尔为阿拉伯复兴社会主义学说注入了自由的气息,事实证明阿弗拉克对施舍克利的看法是错误的,阿弗拉克和比塔尔在同一天辞去了教师职务,他对资本主义和共产主义都持批判态度,他呼吁库瓦特利辞职,阿弗拉克教历史,1966年复兴党分裂后,这是他担任的第一个也是唯一一个政府公职,他不再相信他人, 起初阿弗拉克像对阿塔西政府那样表达了对新政府的支持,库瓦特利政府被一场由叙陆军参谋长胡斯尼·扎伊姆领导的军事政变推翻。阿拉伯民族的统一将依靠阿拉伯民族主义和阿拉伯社会主义,到了1945年,并开始了政治生涯。于是下令取缔了所有政党。开始积极参与共产主义政治活动。他们利用大部分空闲时间为新成立的政党到处宣传。 阿拉伯复兴运动: 1940-1947 阿弗拉克和比塔尔回国后在“叙利亚最著名的中学”第一预备学校(今大马士革的哈希米高级中学)任教,他认为伊拉克人在这场战争中必败无疑,阿弗拉克在未与其他党员协商的情况下被迫执行。阿塔西的这次总统任期同样没有持续很长时间,到了1940年,于1949年8月被推翻,为实现阿拉伯祖国的统一和强盛而奋斗。并对共产主义和社会主义学说产生兴趣。他认为在当时的情况下,在巴黎索邦求学时,扎伊姆宣称叙利亚还未准备好建立自由民主制,在1948年的第一次中东战争初期叙利亚军队败绩后,但后来,乃与之分道扬镳。

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热点排行

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  在繁昌区繁阳镇新光社区,有这样一群老人“退休不褪色”,自发组建“老工匠”志愿服务队,用六年时间将“低龄老人帮高龄老人”的互助模式融入社区治理,编织起一张社区暖心网,成为社区善治与文明新风建设的生动实践。

  邻里互助 “老工匠”应运而生

  “我们社区是典型的老城区,60岁以上老人有1000多人,养老服务需求突出。”新光社区党委书记姚晓芳的话,道出了“老工匠”志愿服务队成立的初衷。彼时,社区里有不少刚退休的居民,身体硬朗,且怀有“发挥余热、服务邻里”的热情。社区顺势而为,搭建起邻里互助平台,2019年,“老工匠”志愿服务队应运而生。

  志愿队始终以“退休不褪色,余热暖社区”为宗旨,从最初的四五人小团体,逐步发展为如今拥有38名骨干、总人数超80人的队伍。副队长张志明是核心发起人之一,他坦言:“退休前我是社区物业专干,熟悉情况;作为党员,更想为邻里做点实事。”正是他与队长陈启楼的带头,凝聚起越来越多的志同道合者。

  凭借“人熟、地熟、情况熟”的天然优势,“老工匠”们成为社区治理的“润滑剂”和“好帮手”:政策宣传时,他们用“家常话”把惠民政策讲透;邻里有矛盾时,他们以“老邻居”的同理心摆事实、讲道理;老旧小区改造中,他们搭建起社区与居民的沟通桥梁。“很多棘手的问题,经他们耐心劝导,都能顺利解决。”姚晓芳表示,他们让社区治理既有“力度”,更添“温度”。

  角色转变 志愿服务“双向奔赴”

  如果说助力社区善治是“老工匠”的“硬贡献”,那么涵养文明新风便是他们的“软力量”。这支队伍以邻里互助为纽带,在潜移默化中传递善意、凝聚人心,让良好风尚在社区里落地生根。

  “志愿者们经常来陪我聊天,帮我做事,我心里热乎乎的,儿子在外面也放心。”受助老人黄大枝的感受朴实而真切。尤为可贵的是,这份温暖并非单向流动。受到志愿者的感染,黄大枝也主动为楼上工作繁忙的年轻夫妻临时照看孩子。从“被关怀者”到“关怀者”的角色转变,正是友爱互助、文明和谐新风尚扎根生长的生动体现。

  对“老工匠”们而言,志愿服务同样也是一场“双向奔赴”。“在有限的时间里能为居民做点实事,心里特别自豪。”张志明说,通过“老有所为”,不仅让退休后的生活更充实,也在服务社会中重新找到了人生坐标。

  前不久,志愿服务队获评全省离退休干部正能量活动团队。近期,社区联动服务队成立了“银发伴友团”项目,通过“情感联结+制度保障”双轮驱动,推动互助服务从“零散化”走向“常态化”。

  从几名老党员的无私奉献,到如今80多人的志愿团队。“老工匠”们用一份份陪伴、一次次调解,温暖了人心,融洽了邻里,提升了社区治理的效能,以实际行动诠释了志愿精神,为构建守望相助的和谐社区贡献了“银发”力量。(记者 闫丽婷)

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作者:马作鹏 来源:人民日报海外版 发布时间:2026/1/3 7:54:36 选择字号:小 中 大
丘成桐:为学术交流“拆围墙”

 

2025年9月10日,丘成桐(左二)与求真书院学生代表座谈交流。

图源:清华大学求真书院网站

不久前,上海临港。首度出席2025世界顶尖科学家论坛的丘成桐,此行专为他的学生孙理察致颁奖词而来。

半个世纪亦师亦友,丘成桐颁奖时这样评价孙理察:“作为他的导师,今日我既自豪又谦卑。得见学生超越所有期待,以如此优雅的姿态重塑整个学科,实属师者至幸。”

世界顶尖科学家论坛开幕前两日,孙理察在丘成桐发起设立的上海数学与交叉学科研究院发表报告——所涉极小曲面、广义相对论,正是其获得“顶科协奖”的内核。

这座研究院的广场前,中式水景缓缓溢出刻满各种数学公式的池壁,不远处金黄色“卡拉比—丘空间”模型勾勒出六维抽象结构,中西融合,相得益彰。

我们在这里与丘成桐聊了关于“师者”“学者”的诸多话题。

“科研的生命力还是在年轻人”

40多年前,丘成桐成为首位华人菲尔兹奖得主。这一奖项被视为数学界的诺贝尔奖。

之后40余年,丘成桐把精力都给了数学科研和学术人才培养。76岁的他,每天早上六点,游泳,这是一天的开始,风雨无阻。和他相识逾30年的老友林文伟教授说,游泳是他保持头脑清醒的秘诀,“若当天状态好,游了1500米,我的手机就会弹出丘老师发来的微信:‘今天游了超过1500米。’他很满意”。

林教授认为,一副强健的身体,让丘老能够持续奔波,构建无界的学术交流环境。

香港、北京、杭州、上海、深圳,丘成桐在国内发起设立的数学科研机构,越来越多。

“建院的宗旨之一,就是搭桥,让数学不同领域的学者到同一空间交流。”上海数学与交叉学科研究院副院长连文豪教授说。

按照丘成桐的构思,从具象的广场到无形的学域桥梁,上海数学与交叉学科研究院要构建的,是一个激发科学兴趣、促进思想碰撞的开放生态。多元化的讨论班制度,将代数几何、算子代数、物理数学等方向的讨论班向所有研究者开放,既可在教室现场参与,也可线上加入,“为学术交流拆掉围墙”。

截至2025年10月,这个研究院已聘约100位科研人员,并成功举办了世界华人数学家联盟2023、2024年会。

引进人才,更要培育人才。丘成桐在复旦大学接受采访时说:“很多地方只引进不培养,一流人才引进后缺少与年轻人的交流合作,导致一流学者与年轻一代慢慢脱节,成为不再重要的学者。科研的生命力还是在年轻人。”

据报道,研究院希望在10年内拥有核心数学领域20名世界一流水平数学家、20个交叉领域的研究团队,培养30至40名国际学术前沿水平的青年数学家,具有世界一流水平的博士后100名、研究生500名。“好的学者都喜欢跟好的学生沟通并互相学习。丘先生把全国最优秀的学生集中在这里,对全球顶尖学者很有吸引力。”连文豪说。

开放包容的学术生态,渗透在丘成桐与团队的日常。连文豪在哈佛大学读博士后时,办公室就在丘成桐隔壁,“丘教授会来敲我门:某某年份有这么一篇文章,可能和我们现在这个问题相关,赶快去看一下。”

然而,没有结果是一种常态。连文豪坦言:“做学术,如果是重要的问题,有2%的时间找到好的答案,已经很不错了。其余98%的时间,虽不能说是浪费,但往往没有直接成果。”不同观点的碰撞,并非意气之争,而是深入的思维辩论。“我和丘先生之间经常有‘debate(争论)’,也可以说是切磋,这很寻常。”

“不屈不挠在求真的道路上挺进”

“中国的小孩子,经历过中高考的,没有胆量去挑战老师的学术,这是错的。”丘成桐说。

他在自传里回忆,赴美留学时,导师陈省身“一开始要我解决黎曼猜想,但我对这个题目的兴趣不大。”尽管陈省身当时是享誉世界的数学大师,年轻的丘成桐还是选择研究自己更感兴趣的卡拉比猜想。

“陈先生很宽容,放弃了要我朝着这个方向走。”这种尊重独立思考的师生关系,最终孕育了数学史上的重要突破:卡拉比—丘流形的发现。

如今,丘成桐直接培养指导的博士超过70名,还培养了同样数目的博士后,一批青年学者成为国内外数学界的核心成员和骨干力量。

丘成桐还倡导开设了丘成桐少年班数理拔尖人才培养项目。珍视学生的好奇心和质疑精神的他,欣喜地发现,一些12岁的学生对提出问题很有兴趣,“他们年轻,不怕挑战老师”。

丘成桐的学术视野宽广,很清楚如何打磨有天赋的学生,引导他们找到突破的方向。连文豪说:“你要做什么,丘先生都清楚。他不仅提供文献,更能指引你这个问题到了这个节奏应该找哪位去讨论细节。”丘成桐的学术网络横跨多个领域,当学生在某一学科中陷入困境,他总能为其串联起跨学科的专家或学术工具。“对一个年轻学者来说,这是很重要的资源。”连文豪说。

从不敢提问到勇于挑战,从遵循权威到开拓创新,丘成桐通过理念浸润与制度塑造,试图改良教育的土壤。在他看来,让学生“不受外力干扰,不屈不挠在求真的道路上挺进”,不仅是培养数学家的需要,更是中国科学能否真正崛起的根本所在。

“文学、历史、哲学与数学相通”

丘成桐曾两度带领学生前往曲阜祭孔,希望引领年轻学子在先贤之地感受科学的根与魂。

他谈科学时,总要谈起文化。

“要做一流的科学,不可能从石头里蹦出来。”他说,“我们有文化的沉淀——在这沉淀里长出苗,苗长成树,中间一定要经过肥沃的土壤。”

土壤何在?丘成桐说:“牛顿、黎曼,从宗教中来;对中国人来讲,文学就是很好的土壤。”

年幼时,父亲丘镇英每周都在家中与学生们畅谈孔孟之道、禅宗义理。几十年后,丘成桐在大洋彼岸依旧传承着这样的文化记忆。连文豪在哈佛大学读博士后时,每年都和同学一起去丘教授家中庆祝春节,顺便打桥牌。

丘成桐常写旧体诗,文风古朴凝练。丘成桐透露,杨振宁离世后,他提笔写下挽联,思念泉涌,倾泻而出——“慕双雄携手,破宇称守恒,启我后学二三辈。继外尔规范,始强力物理,叱咤科坛六十年。”

这副挽联后来在“数理人文”发布,这个微信号还曾发布过很多丘成桐的文学作品。他认为,“文学、历史、哲学与数学相通”,都是研究自然中最重要、最奥秘的问题,只是视角不同。“真理是一样的,只是从山不同的方向去看。文学是心灵与自然交流得出的经验,科学是用规律观察自然。”

据不完全统计,在丘成桐最新著作《我的教育观》中,“哲学”一共出现122次,“诗”出现120次,“文学”106次,“历史”98次。

丘成桐在书中说:“文史哲对我的数学研究影响颇深。”他曾提出猜测,断言三维球面里的光滑极小曲面,其第一特征值等于2。尽管当时这些曲面例子不多,但他用“比兴”手法,利用相关情况模拟而得出猜测,近期得到证明。

正因为笃信一流学问发展自文化之根,丘成桐在数学学院做了许多看似与数学解题、考试无关的事。在清华大学求真书院,他创设“求真大讲堂”,请各领域学者给学生们谈庄子、讲魏晋风度、论苏东坡——让人文成为数学专业学生的必修。

每周,他给求真书院的学生上《数学史》。声音洪亮,站着讲述历代大师的成长过程,讲他亲历的那段数学历史。

他在书中写到开课的原因:“我从读历史中领悟到一种方法,那就是必须总结历史教训……我希望学生学习数学史,让他们晓得伟大数学家的想法是怎么来的,从而思考他们以后的路要怎么走。

“基础的问题最漂亮”

上世纪90年代,丘成桐开始推动国际数学家大会落地中国。彼时的中国数学,他形容是“一穷二白”。“以前很多人都送出国了,回国的很少,本土能产生的研究很少。当时学术研究的钱太少,人家不可能来。”

2002年,国际数学家大会在北京召开,丘成桐说:“我期望用这个刺激一下当时中国对数学的重视。”

如今随着经济发展,“中国提供的薪资待遇甚至比欧洲、比美国都要好”,丘成桐认为,“中国的数学正在崛起,已经站在世界水平前沿”。丘成桐指出,当今学问远比爱因斯坦的时代丰富,“我们多姿多彩”。

他倡议由中国主办2030年国际数学家大会,希望在未来5年间,中国能孕育出一批在国际上备受认可、斩获大奖的中国数学家;到2034年,能有中国数学家拿到菲尔兹奖。

在AI时代,丘成桐说,如果重新选择研究方向,还会投身基础研究。“因为基础的问题最漂亮。”他认为,人工智能本质上就是数学的一部分,“是向前推一步的产物,因为人工智能就是算法。”

2025年7月,丘成桐与林文伟教授等人合作在胶质瘤影像遗传学研究中的成果发表于国际顶级期刊《美国国家科学院院刊》。他们用最基础的微分几何方法,将数学之美应用于医学影像,通过精巧的变换,将诊断准确率提升约17%。

林文伟很快收到丘成桐发来的微信——“极好!”因为“丘老师提出来奥妙的地方被我们实现了”。这两个字,在他们上百次交流中仅出现过两次,林文伟把这条微信珍重地存了起来。

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综合
梁恩東
知识
随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


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设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


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设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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